Projekt Chip MBE zakończony w ostatnich latach

Technologia

Epitaksja z wiązek molekularnych (MBE) to nowa technika hodowli wysokiej jakości cienkich warstw kryształów na podłożach krystalicznych. W warunkach ultra-wysokiej próżni piec grzewczy jest wyposażony we wszelkiego rodzaju wymagane komponenty i generuje parę poprzez otwory powstałe po kolimacji wiązką atomową lub molekularną, bezpośredni wtrysk do odpowiedniej temperatury podłoża monokrystalicznego, kontrolując wiązkę molekularną do skanowanie podłoża w tym samym czasie może spowodować, że cząsteczki lub atomy w warstwach wyrównania kryształów utworzą cienką warstwę na podłożu „wzrost”.

Do normalnej pracy sprzętu MBE wymagany jest ciągły i stabilny transport do komory chłodniczej sprzętu o wysokiej czystości, niskim ciśnieniu i ultra-czystym ciekłym azocie. Ogólnie rzecz biorąc, zbiornik dostarczający ciekły azot ma ciśnienie wyjściowe od 0,3 MPa do 0,8 MPa. Ciekły azot o temperaturze -196 ℃ jest łatwo odparowywany do azotu podczas transportu rurociągiem. Gdy ciekły azot o stosunku gaz-ciecz około 1: 700 zostanie zgazowany w rurociągu, zajmie on dużą ilość przestrzeni przepływu ciekłego azotu i zmniejszy normalny przepływ na końcu rurociągu ciekłego azotu. Ponadto w zbiorniku do przechowywania ciekłego azotu mogą znajdować się zanieczyszczenia, które nie zostały oczyszczone. W rurociągu ciekłego azotu istnienie wilgotnego powietrza będzie również prowadzić do tworzenia się żużla lodowego. Jeśli zanieczyszczenia te dostaną się do sprzętu, spowoduje to nieprzewidywalne uszkodzenie sprzętu.

Dlatego ciekły azot w zbiorniku zewnętrznym jest transportowany do sprzętu MBE w warsztacie bezpyłowym z wysoką wydajnością, stabilnością i czystością oraz niskim ciśnieniem, bez azotu, bez zanieczyszczeń, 24 godziny bez przerwy, taki system kontroli transportu jest kwalifikowany produkt.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Dopasowany sprzęt MBE

Od 2005 roku HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) optymalizuje i ulepsza ten system oraz współpracuje z międzynarodowymi producentami sprzętu MBE. Z naszą firmą współpracują producenci sprzętu MBE, w tym DCA, REBER. Producenci sprzętu MBE, w tym DCA i REBER, współpracowali przy wielu projektach.

Riber SA jest wiodącym światowym dostawcą produktów do epitaksji z wiązek molekularnych (MBE) i powiązanych usług do badań półprzewodników złożonych i zastosowań przemysłowych. Urządzenie Riber MBE może nanosić na podłoże bardzo cienkie warstwy materiału przy bardzo wysokiej kontroli. Sprzęt próżniowy HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) jest wyposażony w Riber SA Największym urządzeniem jest Riber 6000, a najmniejszym Compact 21. Jest w dobrym stanie i został doceniony przez klientów.

DCA to wiodący na świecie tlenkowy MBE. Od 1993 roku systematycznie rozwijano techniki utleniania, podgrzewania podłoża przeciwutleniającego i źródeł przeciwutleniaczy. Z tego powodu wiele wiodących laboratoriów wybrało technologię tlenku DCA. Kompozytowe systemy półprzewodnikowe MBE są używane na całym świecie. System cyrkulacji ciekłego azotu VJ HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) i sprzęt MBE wielu modeli DCA mają pasujące doświadczenie w wielu projektach, takich jak model P600, R450, SGC800 itp.

tcm (2)

Tabela wydajności

Szanghajski Instytut Fizyki Technicznej, Chińska Akademia Nauk
11. Instytut China Electronics Technology Corporation
Instytut Półprzewodników, Chińska Akademia Nauk
Huawei
Alibaba DAMO Academy
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Czas postu: 26 maja-2021