Brief of Molecular Beam Epitaxy (MBE)
Technologia epitaxy wiązki molekularnej (MBE) została opracowana w latach 50. XX wieku w celu przygotowania półprzewodników cienkich materiałów z przy użyciu technologii odparowania próżniowego. Wraz z opracowaniem bardzo wysokiej technologii próżniowej zastosowanie technologii zostało rozszerzone na dziedzinę nauk półprzewodnikowych.
Motywacją badań materiałów półprzewodnikowych jest zapotrzebowanie na nowe urządzenia, które może poprawić wydajność systemu. Z kolei nowe technologie materialne mogą wytwarzać nowy sprzęt i nowe technologie. Epitaksja wiązki molekularnej (MBE) jest technologią wysokiej próżniowej warstwy epitaksjalnej (zwykle półprzewodnikowej) wzrostu. Wykorzystuje wiązkę ciepła atomów źródłowych lub cząsteczek wpływających na podłoże pojedynczego kryształu. Ultra-wysoka charakterystyka próżni procesu pozwala na metalizację i wzrost materiałów izolacyjnych na nowo wyhodowanych powierzchniach półprzewodników, co powoduje interfejsy wolne od zanieczyszczeń.
Technologia MBE
Epitaksję wiązki molekularnej przeprowadzono w wysokiej próżni lub ultra-wysokiej próżni (1 x 10-8PA) Środowisko. Najważniejszym aspektem epitaxii wiązki molekularnej jest jej niski wskaźnik osadzania, który zwykle pozwala folii na wzrost epitaksji w tempie mniejszym niż 3000 nm na godzinę. Tak niski wskaźnik osadzania wymaga wystarczająco wysokiej próżni, aby osiągnąć taki sam poziom czystości jak inne metody osadzania.
Aby spełnić ultra-wysoką próżnię opisaną powyżej, urządzenie MBE （Knudsen Cell） ma warstwę chłodzącej, a ultra wysokie środowisko próżniowa komory wzrostu musi być utrzymywane przy użyciu systemu krążenia ciekłego azotu. Ciekł azot chłodzi wewnętrzną temperaturę urządzenia do 77 Kelvin (-196 ° C). Środowisko niskiej temperatury może dodatkowo zmniejszyć zawartość zanieczyszczeń w próżni i zapewnić lepsze warunki do odkładania cienkich warstw. Dlatego dedykowany system cyrkulacji ciekłego azotu jest wymagany, aby sprzęt MBE zapewniał ciągły i stałym zasilanie ciekłego azotu -196 ° C.
System krążenia ciekłego azotu
System krążenia próżniowego chłodzenia ciekłego azotu obejmuje głównie,
● Zbiornik kriogeniczny
● Główna i odgałęziona próżniowa rura / wąż z płaszczami próżniowymi
● Specjalny separator fazowy MBE i próżniowa rura wydechowa z płaszczem
● Różne zawory z płaszczami próżniowymi
● Bariera gazu-ciecz
● Filtr próżniowy z płaszczami
● Dynamiczny system pompy próżniowej
● System podgrzewania i oczyszczania
HL Criogeic Equipment Company zauważyła popyt na system chłodzenia ciekłego azotu MBE, zorganizowana techniczna szkielet, aby z powodzeniem opracować specjalny system grubego azotu MBE dla technologii MBE i kompletny zestaw próżni insulatedSystem rurociągów, który był używany w wielu przedsiębiorstwach, uniwersytetach i instytutach badawczych.
Sprzęt kriogeniczny HL
HL Criogeic Equipment, który został założony w 1992 roku, to marka powiązana z Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company w Chinach. Sprzęt kriogeniczny HL jest zaangażowany w projektowanie i produkcję izolowanego kriogenicznego systemu rur i powiązanego sprzętu wsparcia.
Aby uzyskać więcej informacji, odwiedź oficjalną stronę internetowąwww.hlcryo.comlub e -mail doinfo@cdholy.com.
Czas po: 06-2021
