Krótki opis epitaksji z wiązek molekularnych (MBE)
Technologia epitaksji z wiązek molekularnych (MBE) została opracowana w latach pięćdziesiątych XX wieku w celu przygotowania cienkowarstwowych materiałów półprzewodnikowych przy użyciu technologii odparowania próżniowego. Wraz z rozwojem technologii ultrawysokiej próżni zastosowanie tej technologii zostało rozszerzone na dziedzinę nauki o półprzewodnikach.
Motywacją badań nad materiałami półprzewodnikowymi jest zapotrzebowanie na nowe urządzenia, które mogą poprawić wydajność układu. Z kolei nowa technologia materiałowa może wytworzyć nowy sprzęt i nową technologię. Epitaksja z wiązek molekularnych (MBE) to technologia wysokopróżniowa służąca do wzrostu warstwy epitaksjalnej (zwykle półprzewodnika). Wykorzystuje wiązkę ciepła atomów lub cząsteczek źródłowych oddziałujących na podłoże monokrystaliczne. Charakterystyka procesu charakteryzująca się ultrawysoką próżnią umożliwia metalizację in situ i narastanie materiałów izolacyjnych na nowo wyhodowanych powierzchniach półprzewodników, w wyniku czego powstają interfejsy wolne od zanieczyszczeń.
Technologia MBE
Epitaksję z wiązek molekularnych przeprowadzono w wysokiej lub ultrawysokiej próżni (1 x 10-8Pa) środowisko. Najważniejszym aspektem epitaksji z wiązek molekularnych jest niska szybkość osadzania, która zwykle pozwala na epitaksjalny wzrost folii z szybkością mniejszą niż 3000 nm na godzinę. Tak niska szybkość osadzania wymaga wystarczająco wysokiej próżni, aby osiągnąć ten sam poziom czystości, co inne metody osadzania.
Aby zapewnić opisaną powyżej ultrawysoką próżnię, urządzenie MBE (ogniwo Knudsena) posiada warstwę chłodzącą, a środowisko o bardzo wysokiej próżni w komorze wzrostu musi być utrzymywane za pomocą systemu cyrkulacji ciekłego azotu. Ciekły azot schładza temperaturę wewnętrzną urządzenia do 77 kelwinów (-196 °C). Środowisko o niskiej temperaturze może dodatkowo zmniejszyć zawartość zanieczyszczeń w próżni i zapewnić lepsze warunki osadzania cienkich warstw. Dlatego w urządzeniach MBE wymagany jest dedykowany system cyrkulacji chłodzenia ciekłym azotem, zapewniający ciągłe i stałe dostarczanie ciekłego azotu o temperaturze -196°C.
Układ cyrkulacyjny chłodzenia ciekłym azotem
Próżniowy układ chłodzenia ciekłym azotem obejmuje głównie:
● zbiornik kriogeniczny
● główna i odgałęziona rura z płaszczem próżniowym / wąż z płaszczem próżniowym
● Specjalny separator faz MBE i rura wydechowa z płaszczem próżniowym
● różne zawory z płaszczem próżniowym
● bariera gaz-ciecz
● filtr z płaszczem próżniowym
● dynamiczny system pompy próżniowej
● Układ wstępnego chłodzenia i ponownego nagrzewania
Firma HL Cryogenic Equipment Company zauważyła zapotrzebowanie na system chłodzenia ciekłym azotem MBE, zorganizowała szkielet techniczny w celu pomyślnego opracowania specjalnego systemu chłodzenia ciekłym azotem MBE dla technologii MBE oraz kompletny zestaw izolatorów próżniowychedsystem rurociągów, który był stosowany w wielu przedsiębiorstwach, uniwersytetach i instytutach badawczych.
Sprzęt kriogeniczny HL
Firma HL Cryogenic Equipment założona w 1992 roku jest marką stowarzyszoną z Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company w Chinach. Firma HL Cryogenic Equipment zajmuje się projektowaniem i produkcją systemu rurociągów kriogenicznych izolowanych pod wysokim ciśnieniem oraz powiązanego sprzętu pomocniczego.
Aby uzyskać więcej informacji, odwiedź oficjalną stronę internetowąwww.hlcryo.comlub e-mail na adresinfo@cdholy.com.
Czas publikacji: 6 maja 2021 r
