Systemy chłodzenia ciekłym azotem są szeroko stosowane w przemyśle półprzewodników i układów scalonych, w tym w procesie,
- Technologia epitaksji z wiązek molekularnych (MBE)
- Test chipa po pakiecie COB
Produkty powiązane
Seria rur izolowanych próżniowo
Seria węży elastycznych z izolacją próżniową
System dynamicznej pompy próżniowej
Seria izolowanych próżniowo separatorów faz
Seria zaworów izolowanych próżniowo
Sprzęt wspomagający system rurociągów
EPITAKSJA WIĄZKI MOLEKULARNEJ
Technologia epitaksji z wiązek molekularnych (MBE) została opracowana w latach pięćdziesiątych XX wieku w celu przygotowania cienkowarstwowych materiałów półprzewodnikowych przy użyciu technologii odparowywania próżniowego.Wraz z rozwojem technologii ultrawysokiej próżni, zastosowanie technologii zostało rozszerzone na dziedzinę nauki o półprzewodnikach.
HL zauważył zapotrzebowanie na system chłodzenia ciekłym azotem MBE, zorganizował zaplecze techniczne, aby z powodzeniem opracować specjalny system chłodzenia ciekłym azotem MBE dla technologii MBE oraz kompletny zestaw izolowanych próżniowo systemów rurociągów, który był używany w wielu przedsiębiorstwach, uniwersytetach i instytutach badawczych .
Typowe problemy przemysłu półprzewodników i układów scalonych obejmują:
- Ciśnienie ciekłego azotu w urządzeniach końcowych (MBE).Zapobiegaj przeciążeniu ciśnieniowemu spowodowanemu uszkodzeniem urządzeń końcowych (MBE).
- Wiele kontroli wlotu i wylotu cieczy kriogenicznej
- Temperatura ciekłego azotu do urządzeń końcowych
- Rozsądna ilość emisji gazów kriogenicznych
- (Automatyczne) Przełączanie linii głównych i bocznych
- Regulacja ciśnienia (redukcja) i stabilność VIP
- Usuwanie ewentualnych zanieczyszczeń i pozostałości lodu ze zbiornika
- Czas napełniania terminalowych urządzeń płynnych
- Wstępne chłodzenie rurociągu
- Odporność na ciecze w systemie VIP
- Kontrola utraty ciekłego azotu podczas nieciągłej pracy systemu
Rura izolowana próżniowo (VIP) firmy HL jest standardowo zbudowana zgodnie z normą ASME B31.3 dotyczącą rurociągów ciśnieniowych.Doświadczenie inżynierskie i umiejętność kontroli jakości w celu zapewnienia wydajności i opłacalności zakładu klienta.
ROZWIĄZANIA
HL Cryogenic Equipment dostarcza klientom system rurociągów izolowanych próżniowo, aby spełnić wymagania i warunki przemysłu półprzewodników i układów scalonych:
1. System zarządzania jakością: ASME B31.3 Kodeks rurociągów ciśnieniowych.
2. Specjalny separator faz z wieloma wlotami i wylotami cieczy kriogenicznej z funkcją automatycznego sterowania spełnia wymagania emisji gazów, zawracanego ciekłego azotu i temperatury ciekłego azotu.
3. Odpowiednia i terminowa konstrukcja wydechu zapewnia, że urządzenia końcowe zawsze pracują w ramach zaprojektowanej wartości ciśnienia.
4. Barierę gazowo-cieczową umieszcza się w pionowej rurze VI na końcu rurociągu VI.Bariera gazowo-cieczowa wykorzystuje zasadę uszczelnienia gazowego do blokowania ciepła z końca rurociągu VI do rurociągu VI i skutecznie zmniejsza utratę ciekłego azotu podczas nieciągłej i przerywanej pracy systemu.
5.VI Rurociągi kontrolowane przez serię zaworów z izolacją próżniową (VIV): w tym zawór odcinający z izolacją próżniową (pneumatyczny), zawór zwrotny z izolacją próżniową, zawór regulacyjny z izolacją próżniową itp. Różne typy VIV można łączyć modułowo w celu sterowania VIP jako wymagany.VIV jest zintegrowany z prefabrykacją VIP u producenta, bez obróbki izolacyjnej na miejscu.Jednostkę uszczelniającą VIV można łatwo wymienić.(HL akceptuje markę zaworów kriogenicznych wskazaną przez klientów, a następnie produkuje zawory izolowane próżniowo przez HL. Niektóre marki i modele zaworów mogą nie nadawać się do produkcji zaworów izolowanych próżniowo).
6. Czystość, jeśli istnieją dodatkowe wymagania dotyczące czystości powierzchni dętki.Sugeruje się, aby klienci wybierali rury ze stali nierdzewnej BA lub EP jako rury wewnętrzne VIP, aby jeszcze bardziej ograniczyć wycieki ze stali nierdzewnej.
7. Filtr izolowany próżniowo: Oczyść zbiornik z ewentualnych zanieczyszczeń i pozostałości lodu.
8. Po kilku dniach lub dłuższym przestoju lub konserwacji konieczne jest wstępne schłodzenie rurociągu VI i urządzeń końcowych przed wprowadzeniem cieczy kriogenicznej, aby uniknąć żużla lodowego po bezpośrednim przedostaniu się cieczy kriogenicznej do rurociągów VI i urządzeń końcowych.Podczas projektowania należy uwzględnić funkcję wstępnego chłodzenia.Zapewnia lepszą ochronę urządzeń końcowych i sprzętu pomocniczego VI Piping, takiego jak zawory.
9. Garnitur zarówno dla dynamicznego, jak i statycznego izolowanego próżniowo (elastycznego) systemu rur.
10. Dynamiczny system rur z izolacją próżniową (elastyczny): składa się z elastycznych węży VI i/lub rury VI, węży łączących, izolowanego próżniowo systemu zaworów, separatorów faz i dynamicznego systemu pompy próżniowej (w tym pomp próżniowych, zaworów elektromagnetycznych i próżniomierzy itp. ).Długość pojedynczego elastycznego węża VI można dostosować do wymagań użytkownika.
11. Różne rodzaje połączeń: można wybrać typ próżniowego połączenia bagnetowego (VBC) i połączenie spawane.Typ VBC nie wymaga izolacji na miejscu.