Krótki opis systemu rur izolowanych próżniowo w zastosowaniach kriogenicznych w przemyśle chipów

Produkcja i projektowanie izolowanego próżniowo systemu rurowego do transportu ciekłego azotu jest odpowiedzialnością dostawcy. W przypadku tego projektu, jeśli dostawca nie ma warunków do pomiaru na miejscu, rysunki kierunku rurociągu muszą zostać dostarczone przez dom. Następnie dostawca zaprojektuje VI Piping System do scenariuszy z ciekłym azotem.

Dostawca ma obowiązek wykonać ogólny projekt systemu rurociągów przez doświadczonych projektantów na podstawie rysunków, parametrów sprzętu, warunków na miejscu, właściwości ciekłego azotu i innych czynników dostarczonych przez odbiorcę.

Zawartość projektu obejmuje rodzaj akcesoriów systemowych, określenie materiału i specyfikacji rur wewnętrznych i zewnętrznych, projekt schematu izolacji, schemat sekcji prefabrykowanych, formę połączenia między sekcjami rur, wewnętrzny wspornik rury, liczbę i położenie zaworu próżniowego, eliminację uszczelnienia gazowego, wymagania dotyczące cieczy kriogenicznej w urządzeniach końcowych itp. Ten schemat powinien zostać zweryfikowany przez profesjonalny personel odbiorcy przed produkcją.

Zakres tematyczny projektu systemów rurociągów izolowanych próżniowo jest szeroki. Tutaj omówimy typowe problemy związane z zastosowaniami HASS i urządzeniami MBE.

1 2

VI Rurociągi

Zbiornik do przechowywania ciekłego azotu jest zazwyczaj długi od HASS Application lub sprzętu MBE. Podczas gdy próżniowo izolowana rura wchodzi do budynku wewnątrz, należy jej rozsądnie unikać zgodnie z układem pomieszczeń w budynku i lokalizacją rury polowej i kanału powietrznego. Dlatego transport ciekłego azotu do sprzętu, co najmniej setki metrów rury.

Ponieważ sprężony ciekły azot sam w sobie zawiera dużą ilość gazu, w połączeniu z odległością transportu, nawet próżniowa rura adiabatyczna wytworzy dużą ilość azotu w procesie transportu. Jeśli azot nie zostanie uwolniony lub emisja będzie zbyt niska, aby spełnić wymagania, spowoduje to opór gazu i doprowadzi do słabego przepływu ciekłego azotu, co spowoduje znaczne zmniejszenie natężenia przepływu.

Jeżeli natężenie przepływu jest niewystarczające, nie można kontrolować temperatury w komorze urządzenia z ciekłym azotem, co może prowadzić do uszkodzenia urządzenia lub pogorszenia jakości produktu.

Dlatego konieczne jest obliczenie ilości ciekłego azotu używanego przez urządzenia końcowe (aplikacja HASS lub urządzenia MBE). Jednocześnie specyfikacje rurociągów są określane również na podstawie długości i kierunku rurociągu.

Zaczynając od zbiornika do magazynowania ciekłego azotu, jeśli główny rurociąg rury/węża izolowanego próżniowo ma DN50 (średnica wewnętrzna φ50 mm), jego odgałęziona rura/wąż VI ma DN25 (średnica wewnętrzna φ25 mm), a wąż między rurą odgałęzioną a urządzeniem końcowym ma DN15 (średnica wewnętrzna φ15 mm). Inne elementy złączne do systemu rurociągów VI, w tym separator faz, odgazowywacz, automatyczny odpowietrznik gazu, zawór odcinający VI/kriogeniczny (pneumatyczny), zawór regulujący przepływ VI pneumatyczny, zawór zwrotny VI/kriogeniczny, filtr VI, zawór bezpieczeństwa, układ odpowietrzający i pompa próżniowa itp.

3

Separator fazowy MBE Special

Każdy specjalny separator fazy normalnego ciśnienia MBE ma następujące funkcje:

1. Czujnik poziomu cieczy i automatyczny system kontroli poziomu cieczy, natychmiastowo wyświetlany za pomocą skrzynki sterowniczej.

2. Funkcja redukcji ciśnienia: wlot cieczy do separatora jest wyposażony w pomocniczy układ separatora, który gwarantuje ciśnienie ciekłego azotu wynoszące 3-4 bary w głównym przewodzie. Wchodząc do separatora faz, należy stopniowo zmniejszać ciśnienie do ≤ 1 bar.

3. Regulacja przepływu wlotowego cieczy: wewnątrz separatora faz znajduje się układ kontroli pływalności. Jego funkcją jest automatyczna regulacja ilości wlotu cieczy, gdy zużycie ciekłego azotu wzrasta lub maleje. Ma to tę zaletę, że zmniejsza gwałtowne wahania ciśnienia spowodowane wlotem dużej ilości ciekłego azotu, gdy otwiera się zawór pneumatyczny wlotowy, i zapobiega nadciśnieniu.

4. Funkcja buforowa, efektywna objętość wewnątrz separatora gwarantuje maksymalny natychmiastowy przepływ urządzenia.

5. Układ oczyszczania: przepływ powietrza i pary wodnej w separatorze przed przejściem ciekłego azotu oraz odprowadzanie ciekłego azotu w separatorze po przejściu ciekłego azotu.

6. Funkcja automatycznego odciążenia nadciśnienia: Sprzęt, początkowo przechodząc przez ciekły azot lub w szczególnych okolicznościach, prowadzi do wzrostu zgazowania ciekłego azotu, co prowadzi do natychmiastowego nadciśnienia całego układu. Nasz separator faz jest wyposażony w zawór bezpieczeństwa i grupę zaworów bezpieczeństwa, które mogą skuteczniej zapewnić stabilność ciśnienia w separatorze i zapobiec uszkodzeniu sprzętu MBE przez nadmierne ciśnienie.

7. Skrzynka sterownicza elektryczna, wyświetlanie w czasie rzeczywistym poziomu cieczy i wartości ciśnienia, może ustawić poziom cieczy w separatorze i ciekły azot w zależności od ilości kontroli. W tym samym czasie. W nagłych wypadkach ręczne hamowanie separatora gazu i cieczy do zaworu sterującego cieczą, aby zapewnić bezpieczeństwo personelu i sprzętu na miejscu.

4

Wielordzeniowy odgazowywacz do zastosowań HASS

Zewnętrzny zbiornik do przechowywania ciekłego azotu zawiera dużą ilość azotu, ponieważ jest on przechowywany i transportowany pod ciśnieniem. W tym systemie odległość transportu rurociągiem jest dłuższa, jest więcej kolanek i większy opór, co spowoduje częściowe zgazowanie ciekłego azotu. Rura izolowana próżniowo jest obecnie najlepszym sposobem transportu ciekłego azotu, ale nie da się uniknąć wycieku ciepła, co również doprowadzi do częściowego zgazowania ciekłego azotu. Podsumowując, ciekły azot zawiera dużą ilość azotu, co prowadzi do generowania oporu gazu, w wyniku czego przepływ ciekłego azotu nie jest płynny.

Sprzęt wydechowy na rurze izolowanej próżniowo, jeśli nie ma urządzenia wydechowego lub niewystarczająca objętość wydechu, doprowadzi do oporu gazu. Po utworzeniu oporu gazu, zdolność transportu ciekłego azotu zostanie znacznie zmniejszona.

Wielordzeniowy odgazowywacz zaprojektowany wyłącznie przez naszą firmę może zapewnić maksymalny poziom azotu odprowadzanego z głównej rury z ciekłym azotem i zapobiec tworzeniu się oporu gazu. A wielordzeniowy odgazowywacz ma wystarczającą objętość wewnętrzną, może pełnić rolę zbiornika buforowego, może skutecznie spełniać potrzeby maksymalnego natychmiastowego przepływu roztworu w rurociągu.

Unikalna opatentowana struktura wielordzeniowa, wydajniejsza wydajność odprowadzania spalin niż w przypadku innych typów naszych separatorów.

5
Kontynuując poprzedni artykuł, należy wziąć pod uwagę pewne kwestie przy projektowaniu rozwiązań dla systemów rurociągów izolowanych próżniowo do zastosowań kriogenicznych w przemyśle układów scalonych.

1

Dwa rodzaje systemów rur izolowanych próżniowo

Istnieją dwa rodzaje systemów rurociągów izolowanych próżniowo: statyczny system VI i dynamiczny system pompowania próżniowego.

System Static VI oznacza, że ​​po wykonaniu każdej rury w fabryce, jest ona odkurzana do określonego stopnia podciśnienia na jednostce pompującej i uszczelniana. Podczas instalacji w terenie i oddawania do użytku przez pewien okres czasu nie ma potrzeby ponownego ewakuowania na miejsce.

Zaletą systemu Static VI są niskie koszty konserwacji. Po uruchomieniu systemu rurowego konserwacja jest wymagana kilka lat później. Ten system próżniowy nadaje się do systemów, które nie wymagają wysokich wymagań dotyczących chłodzenia i otwartych przestrzeni do konserwacji na miejscu.

Wadą systemu Static VI jest to, że próżnia maleje z czasem. Ponieważ wszystkie materiały uwalniają cały czas gazy śladowe, co jest określone przez właściwości fizyczne materiału. Materiał w osłonie rury VI może zmniejszyć ilość gazu uwalnianego przez proces, ale nie może być całkowicie odizolowany. Doprowadzi to do tego, że próżnia w uszczelnionym środowisku próżniowym będzie coraz niższa, a rura izolacyjna próżniowa będzie stopniowo osłabiać zdolność chłodzenia.

Dynamic Vacuum Pumping System oznacza, że ​​po wykonaniu i uformowaniu rury, rura jest nadal ewakuowana w fabryce zgodnie z procesem wykrywania nieszczelności, ale próżnia nie jest uszczelniana przed dostawą. Po zakończeniu instalacji w terenie, warstwy próżniowe wszystkich rur zostaną połączone w jedną lub więcej jednostek za pomocą węży ze stali nierdzewnej, a mała dedykowana pompa próżniowa zostanie użyta do odkurzania rur w terenie. Specjalna pompa próżniowa ma automatyczny system monitorowania próżni w dowolnym momencie i odkurzania w razie potrzeby. System działa 24 godziny na dobę.

Wadą dynamicznego systemu pompowania próżniowego jest konieczność utrzymywania próżni za pomocą energii elektrycznej.

Zaletą Dynamic Vacuum Pumping System jest to, że stopień próżni jest bardzo stabilny. Jest on preferowany w środowisku wewnętrznym i wymaganiach dotyczących wydajności próżni w bardzo dużych projektach.

Nasz dynamiczny system pompowania próżniowego to w pełni mobilna, zintegrowana specjalna pompa próżniowa zapewniająca skuteczne odkurzanie, wygodny i rozsądny układ gwarantujący skuteczne odkurzanie, jakość akcesoriów próżniowych gwarantująca jakość odkurzania.

W przypadku projektu MBE, ponieważ sprzęt znajduje się w czystym pomieszczeniu, a sprzęt działa przez długi czas. Większość izolowanego próżniowo systemu rurowego znajduje się w zamkniętej przestrzeni na międzywarstwie czystego pomieszczenia. Nie jest możliwe wdrożenie konserwacji próżniowej systemu rurowego w przyszłości. Będzie to miało poważny wpływ na długoterminową eksploatację systemu. W rezultacie projekt MBE wykorzystuje prawie cały Dynamic Vacuum Pumping System.

2

System odciążenia ciśnienia

System redukcji ciśnienia głównej linii przyjmuje grupę zaworów bezpieczeństwa. Grupa zaworów bezpieczeństwa jest używana jako system ochrony bezpieczeństwa, gdy nadciśnienia, VI Piping nie można regulować podczas normalnego użytkowania

Zawór bezpieczeństwa jest kluczowym elementem zapewniającym, że system rurociągów nie będzie pod wysokim ciśnieniem, bezpieczna praca, więc jest niezbędny w działaniu rurociągu. Jednak zawór bezpieczeństwa zgodnie z przepisami musi być wysyłany do sprawdzenia co roku. Gdy jeden zawór bezpieczeństwa jest używany, a drugi jest przygotowany, gdy jeden zawór bezpieczeństwa jest usuwany, drugi zawór bezpieczeństwa pozostaje w systemie rurociągów, aby zapewnić normalne działanie rurociągu.

Grupa zaworów bezpieczeństwa zawiera dwa zawory bezpieczeństwa DN15, jeden do użytku i jeden do czuwania. Podczas normalnej pracy tylko jeden zawór bezpieczeństwa jest podłączony do systemu rur VI i działa normalnie. Pozostałe zawory bezpieczeństwa są odłączone od wewnętrznej rury i można je wymienić w dowolnym momencie. Dwa zawory bezpieczeństwa są podłączone i odcięte przez stan przełączania zaworu bocznego.

Zespół zaworów bezpieczeństwa wyposażony jest w manometr umożliwiający kontrolę ciśnienia w układzie rurociągów w dowolnym momencie.

Grupa zaworów bezpieczeństwa jest wyposażona w zawór spustowy. Może być używany do odprowadzania powietrza z rury podczas oczyszczania, a azot może być odprowadzany, gdy system ciekłego azotu jest uruchomiony.

Dzień dobry

Sprzęt kriogeniczny HL

Firma HL Cryogenic Equipment, założona w 1992 r., jest marką powiązaną z firmą Chengdu Holy Cryogenic Equipment w Chinach. Firma HL Cryogenic Equipment zajmuje się projektowaniem i produkcją systemów rurociągów kriogenicznych izolowanych wysokopróżniowo oraz powiązanego sprzętu pomocniczego.

W dzisiejszym szybko zmieniającym się świecie dostarczanie zaawansowanej technologii przy jednoczesnym maksymalizowaniu oszczędności kosztów dla klientów jest trudnym zadaniem. Przez 30 lat firma HL Cryogenic Equipment Company w niemal wszystkich urządzeniach kriogenicznych i przemyśle ma głębsze doświadczenie w zastosowaniach, zgromadziła bogate doświadczenie i niezawodność, a także nieustannie bada i dąży do nadążania za najnowszymi osiągnięciami we wszystkich dziedzinach życia, zapewniając klientom nowe, praktyczne i wydajne rozwiązania, czyniąc naszych klientów bardziej konkurencyjnymi na rynku.

For more information, please visit the official website www.hlcryo.com, or email to info@cdholy.com .

4


Czas publikacji: 25-08-2021

Zostaw swoją wiadomość