Systemy chłodzenia ciekłym azotem są szeroko stosowane w przemyśle półprzewodników i układów scalonych, w tym w procesie:
- Technologia epitaksji wiązek molekularnych (MBE)
- Test układu scalonego po opakowaniu COB
Powiązane produkty
Seria rur izolowanych próżniowo
Seria węży elastycznych izolowanych próżniowo
Dynamiczny system pompy próżniowej
Seria separatorów faz z izolacją próżniową
Seria zaworów izolowanych próżniowo
Sprzęt wspomagający systemy rurociągowe
EPITAKSYJA WIĄZKĄ MOLEKULARNĄ
Technologia epitaksji z wiązek molekularnych (MBE) została opracowana w latach 50. XX wieku w celu wytwarzania cienkowarstwowych materiałów półprzewodnikowych z wykorzystaniem technologii naparowywania próżniowego. Wraz z rozwojem technologii ultrawysokiej próżni, zastosowanie tej technologii rozszerzyło się na dziedzinę nauki o półprzewodnikach.
Firma HL dostrzegła zapotrzebowanie na systemy chłodzenia ciekłym azotem MBE i zorganizowała zaplecze techniczne, aby pomyślnie opracować specjalny system chłodzenia ciekłym azotem MBE dla technologii MBE oraz kompletny zestaw izolowanych próżniowo systemów rurowych, które zostały wykorzystane w wielu przedsiębiorstwach, uniwersytetach i instytutach badawczych.
Do typowych problemów branży półprzewodników i układów scalonych należą:
- Ciśnienie ciekłego azotu w urządzeniach terminalowych (MBE). Zapobiegaj przeciążeniu ciśnieniowemu, które może uszkodzić urządzenia terminalowe (MBE).
- Wielofunkcyjne sterowanie wlotem i wylotem cieczy kriogenicznej
- Temperatura ciekłego azotu w urządzeniach końcowych
- Rozsądna ilość emisji gazów kriogenicznych
- (Automatyczne) przełączanie linii głównych i odgałęzień
- Regulacja ciśnienia (redukcja) i stabilność VIP
- Czyszczenie zbiornika z ewentualnych zanieczyszczeń i resztek lodu
- Czas napełniania urządzenia do napełniania cieczą terminalną
- Wstępne chłodzenie rurociągu
- Odporność na płyny w systemie VIP
- Kontrola utraty ciekłego azotu podczas nieciągłej pracy układu
Rury izolowane próżniowo (VIP) firmy HL są standardowo produkowane zgodnie z normą ASME B31.3 dotyczącą rurociągów ciśnieniowych. Doświadczenie inżynieryjne i kompetencje w zakresie kontroli jakości gwarantują wydajność i opłacalność instalacji klienta.
ROZWIĄZANIA
Firma HL Cryogenic Equipment dostarcza klientom systemy rurociągów izolowanych próżniowo, które spełniają wymagania i warunki branży półprzewodników i układów scalonych:
1. System zarządzania jakością: ASME B31.3 Kod dla rurociągów ciśnieniowych.
2. Specjalny separator faz z wieloma wlotami i wylotami cieczy kriogenicznej z funkcją automatycznego sterowania spełnia wymagania dotyczące emisji gazów, recyklingu ciekłego azotu i temperatury ciekłego azotu.
3. Odpowiednia i terminowa konstrukcja układu wydechowego gwarantuje, że urządzenia końcowe zawsze będą pracować w ramach projektowanej wartości ciśnienia.
4. Bariera gazowo-cieczowa jest umieszczana w pionowej rurze VI na końcu rurociągu VI. Bariera gazowo-cieczowa wykorzystuje zasadę uszczelnienia gazowego, aby zablokować ciepło z końca rurociągu VI do rurociągu VI i skutecznie ograniczyć utratę ciekłego azotu podczas nieciągłej i przerywanej pracy systemu.
5. Rurociągi VI sterowane za pomocą serii zaworów z izolacją próżniową (VIV): w tym zawory odcinające z izolacją próżniową (pneumatyczne), zawory zwrotne z izolacją próżniową, zawory regulacyjne z izolacją próżniową itp. Różne typy zaworów VIV można łączyć modułowo, aby sterować zaworem VIP w razie potrzeby. Zawór VIV jest zintegrowany z prefabrykacją zaworu VIP u producenta, bez konieczności obróbki izolacji na miejscu. Uszczelnienie zaworu VIV można łatwo wymienić. (HL akceptuje marki zaworów kriogenicznych wskazane przez klientów, a następnie produkuje zawory z izolacją próżniową. Niektóre marki i modele zaworów mogą nie nadawać się do produkcji zaworów z izolacją próżniową).
6. Czystość, jeśli istnieją dodatkowe wymagania dotyczące czystości powierzchni wewnętrznej rury. Zaleca się, aby klienci wybrali rury ze stali nierdzewnej BA lub EP jako rury wewnętrzne VIP, aby dodatkowo ograniczyć wycieki stali nierdzewnej.
7. Filtr próżniowy: usuwa ewentualne zanieczyszczenia i resztki lodu ze zbiornika.
8. Po kilkudniowym lub dłuższym postoju lub konserwacji, konieczne jest wstępne schłodzenie rurociągów i urządzeń końcowych przed wprowadzeniem do nich cieczy kriogenicznej, aby uniknąć tworzenia się żużlu lodowego po bezpośrednim wpłynięciu cieczy kriogenicznej do rurociągów i urządzeń końcowych. Funkcja wstępnego schładzania powinna być uwzględniona w projekcie. Zapewnia ona lepszą ochronę urządzeń końcowych i elementów podtrzymujących rurociągi, takich jak zawory.
9. Nadaje się do dynamicznych i statycznych systemów rur izolowanych próżniowo (elastycznych).
10. Dynamiczny system rur z izolacją próżniową (elastyczny): składa się z elastycznych węży VI i/lub rur VI, węży połączeniowych, systemu zaworów z izolacją próżniową, separatorów faz oraz dynamicznego systemu pomp próżniowych (w tym pomp próżniowych, elektrozaworów, wakuometrów itp.). Długość pojedynczego elastycznego węża VI można dostosować do wymagań użytkownika.
11. Różne typy połączeń: dostępne są złącza bagnetowe próżniowe (VBC) i złącza spawane. Złącze VBC nie wymaga izolacji na miejscu.
