Systemy chłodzenia ciekłego azotu są szeroko stosowane w przemyśle półprzewodników i chipów, w tym w procesie,
- Technologia epitaxii wiązki molekularnej (MBE)
- Test układu po pakiecie COB
Powiązane produkty
Seria rur izolowanych próżniowych
Elastyczne serie węża izolowane próżniowo
Dynamiczny system pompy próżniowej
Seria separatora izolowanych od próżni
Izolowana próżniowa seria zaworów
Sprzęt wsparcia systemu rur
Epitaksja wiązki molekularnej
Technologia epitaxy wiązki molekularnej (MBE) została opracowana w latach 50. XX wieku w celu przygotowania półprzewodników cienkich materiałów z przy użyciu technologii odparowania próżniowego. Wraz z opracowaniem bardzo wysokiej technologii próżniowej zastosowanie technologii zostało rozszerzone na dziedzinę nauk półprzewodnikowych.
HL zauważył zapotrzebowanie systemu chłodzenia ciekłego azotu MBE, zorganizowany szkielet techniczny w celu skutecznego opracowania specjalnego systemu grubego azotu MBE dla technologii MBE oraz kompletny zestaw rur izolowanych próżniowo, który był używany w wielu przedsiębiorstwach, uniwersytetach i instytutach badawczych .
Wspólne problemy branży półprzewodników i chipów obejmują,
- Ciśnienie ciekłego azotu do sprzętu końcowego (MBE). Zapobiegaj przeciążeniu ciśnienia od uszkodzenia sprzętu terminala (MBE).
- Wiele kriogenicznych płynnych wlotów i oczyszcza
- Temperatura ciekłego azotu do sprzętu końcowego
- Rozsądna ilość kriogenicznych emisji gazu
- (Automatyczne) przełączanie linii głównych i odgałęzionych
- Dostosowanie ciśnienia (zmniejszenie) i stabilność VIP
- Oczyszczanie możliwych zanieczyszczeń i pozostałości lodowych ze zbiornika
- Czas wypełniania terminalnego sprzętu płynnego
- Rurociąg przedpełny
- Odporność cieczy w układzie VIP
- Kontrola utraty ciekłego azotu podczas nieciągłej obsługi układu
Rura izolowana próżniowo (VIP) HL jest zbudowana jako kod rurowy ASME B31.3 jako standard. Doświadczenie inżynierskie i zdolność kontroli jakości w celu zapewnienia wydajności i opłacalności zakładu klienta.
Rozwiązania
Sprzęt kriogeniczny HL zapewnia klientom system rur izolowany próżniowo, aby spełnić wymagania i warunki branży półprzewodników i chipów:
1. System zarządzania kodem jakości: ASME B31.3 Kod rurowy.
2. Specjalny separator faz z wielokrotnym kriogenicznym wlotem ciekłym i wylotem z automatyczną funkcją kontrolną spełnia wymaganie emisji gazu, recyklingu ciekłego azotu i temperatury ciekłego azotu.
3. Przypadek i terminowa konstrukcja wydechowa zapewnia, że sprzęt terminalu zawsze działa w zaprojektowanej wartości ciśnienia.
4. Bariera gazu-ciecz jest umieszczana w pionowej rurze VI na końcu rurociągu VI. Bariera gazowa-ciecz wykorzystuje zasadę uszczelnienia gazowego do blokowania ciepła od końca rurociągu VI do rurociągu VI, i skutecznie zmniejszają utratę ciekłego azotu podczas nieciągłej i przerywanej obsługi systemu.
5. VI Ruruki kontrolowane przez serię zastawki izolowanej próżniowo (VIV): w tym zawór odcinający izolowany (pneumatyczny), izolowany próżniowy zawór kontrolny, izolowany próżniowy zawór regulacyjny itp. Różne rodzaje VIV mogą być modułowe w celu kontrolowania VIP wymagany. VIV jest zintegrowany z prefabrykacją VIP u producenta, bez leczenia izolowanego na miejscu. Uszczelnienie VIV można łatwo wymienić. (HL przyjmuje markę zastawek kriogenicznych wyznaczoną przez klientów, a następnie próżni zastawki izolowane przez HL. Niektóre marki i modele zaworów mogą nie być możliwe do zaworów izolowanych próżni.)
6. Komunikowość, jeśli istnieją dodatkowe wymagania dotyczące czystości powierzchni rur wewnętrznych. Sugeruje się, aby klienci wybierają rurki stali nierdzewnej BA lub EP jako rur wewnętrzny VIP, aby jeszcze bardziej zmniejszyć rozlanie ze stali nierdzewnej.
7. Filtr izolowany przez Vacuum: Oczyść możliwe zanieczyszczenia i pozostałości lodu ze zbiornika.
8. Po kilku dniach lub dłuższych wyłączaniach lub konserwacji, bardzo konieczne jest przedłożenie rur VI i sprzętu końcowego przed wprowadzeniem płynu kriogenicznego, aby uniknąć żalu lodowego po kriogenicznej cieczy bezpośrednio wchodzi do rur VI i sprzętu końcowego. Funkcja przedoełnia powinna być rozważana w projektowaniu. Zapewnia lepszą ochronę urządzeń końcowych i urządzeń wspomagających rurowanie VI, takich jak zawory.
9. Usuwanie zarówno dynamicznego, jak i statycznego izolowanego (elastycznego) systemu rur.
10. System rur izolowany próżniowo (elastyczny): składa się z elastycznych węży i/lub rur VI, węży zworki, układu zastawowego izolowanego próżniowego, separatorów fazowych i dynamicznej pompy próżniowej (w tym pomp próżniowych, zastawek elektromagnesu i próżniowych itp. ). Długość pojedynczego elastycznego węża VI można dostosować zgodnie z wymaganiami użytkownika.
11. Rodzaje połączeń: można wybrać połączenie próżniowe (VBC) i połączenie spawane. Typ VBC nie wymaga leczenia izolowanego na miejscu.
