Systemy chłodzenia ciekłym azotem są szeroko stosowane w przemyśle półprzewodników i układów scalonych, w tym w procesie,
- Technologia epitaksji wiązek molekularnych (MBE)
- Test układu po pakiecie COB
Produkty powiązane
Seria rur izolowanych próżniowo
Seria węży elastycznych izolowanych próżniowo
Dynamiczny system pompy próżniowej
Seria separatorów fazowych z izolacją próżniową
Seria zaworów izolowanych próżniowo
Sprzęt wspomagający systemy rurociągowe
EPITAKSAJA WIĄZKĄ MOLEKULARNĄ
Technologia epitaksji wiązką molekularną (MBE) została opracowana w latach 50. XX wieku w celu przygotowania półprzewodnikowych materiałów cienkowarstwowych przy użyciu technologii odparowywania próżniowego. Wraz z rozwojem technologii ultrawysokiej próżni zastosowanie technologii zostało rozszerzone na dziedzinę nauki o półprzewodnikach.
Firma HL dostrzegła zapotrzebowanie na systemy chłodzenia ciekłym azotem MBE, zorganizowała zaplecze techniczne w celu pomyślnego opracowania specjalnego systemu chłodzenia ciekłym azotem MBE dla technologii MBE oraz kompletnego zestawu izolowanych próżniowo systemów rurowych, które zostały wykorzystane w wielu przedsiębiorstwach, uniwersytetach i instytutach badawczych.
Do typowych problemów branży półprzewodników i układów scalonych należą:
- Ciśnienie ciekłego azotu w urządzeniach terminalowych (MBE). Zapobiegaj przeciążeniu ciśnieniowemu, które może uszkodzić urządzenia terminalowe (MBE).
- Wielofunkcyjne sterowanie wlotem i wylotem cieczy kriogenicznej
- Temperatura ciekłego azotu w urządzeniach końcowych
- Rozsądna ilość emisji gazów kriogenicznych
- (Automatyczne) Przełączanie Linii Głównej i Odgałęzień
- Regulacja ciśnienia (redukcja) i stabilność VIP
- Czyszczenie zbiornika z ewentualnych zanieczyszczeń i resztek lodu
- Czas napełniania urządzenia do przepompowywania cieczy
- Wstępne chłodzenie rurociągu
- Odporność na płyny w systemie VIP
- Kontrola utraty ciekłego azotu podczas nieciągłej pracy systemu
Rura próżniowo izolowana (VIP) firmy HL jest standardowo budowana zgodnie z normą ASME B31.3 Pressure Piping code. Doświadczenie inżynieryjne i zdolność kontroli jakości zapewniają wydajność i opłacalność zakładu klienta.
ROZWIĄZANIA
Firma HL Cryogenic Equipment dostarcza klientom systemy rurociągów izolowanych próżniowo, aby sprostać wymaganiom i warunkom branży półprzewodników i układów scalonych:
1. System zarządzania jakością: ASME B31.3 Kodeks rurociągów ciśnieniowych.
2. Specjalny separator faz z wieloma wlotami i wylotami cieczy kriogenicznej z funkcją automatycznego sterowania spełnia wymagania dotyczące emisji gazów, recyrkulacji ciekłego azotu i temperatury ciekłego azotu.
3. Odpowiednia i terminowa konstrukcja układu wydechowego zapewnia, że urządzenia końcowe zawsze pracują w ramach zaprojektowanej wartości ciśnienia.
4. Bariera gazowo-cieczowa jest umieszczona w pionowej rurze VI na końcu rurociągu VI. Bariera gazowo-cieczowa wykorzystuje zasadę uszczelnienia gazowego, aby zablokować ciepło z końca rurociągu VI do rurociągu VI i skutecznie zmniejszyć utratę ciekłego azotu podczas nieciągłej i przerywanej pracy systemu.
5. Przewody rurowe VI sterowane przez serię zaworów izolowanych próżniowo (VIV): w tym zawór odcinający izolowany próżniowo (pneumatyczny), zawór zwrotny izolowany próżniowo, zawór regulacyjny izolowany próżniowo itp. Różne typy VIV można łączyć modułowo, aby sterować VIP zgodnie z wymaganiami. VIV jest zintegrowany z prefabrykacją VIP u producenta, bez obróbki izolacji na miejscu. Jednostkę uszczelniającą VIV można łatwo wymienić. (HL akceptuje markę zaworu kriogenicznego wskazaną przez klientów, a następnie produkuje zawory izolowane próżniowo przez HL. Niektóre marki i modele zaworów mogą nie nadawać się do produkcji zaworów izolowanych próżniowo.)
6. Czystość, jeśli istnieją dodatkowe wymagania dotyczące czystości powierzchni wewnętrznej rury. Zaleca się, aby klienci wybierali rury ze stali nierdzewnej BA lub EP jako rury wewnętrzne VIP, aby jeszcze bardziej ograniczyć wycieki stali nierdzewnej.
7. Filtr próżniowy: usuwa ewentualne zanieczyszczenia i resztki lodu ze zbiornika.
8. Po kilku dniach lub dłuższym wyłączeniu lub konserwacji, bardzo konieczne jest wstępne schłodzenie rurociągów VI i urządzeń końcowych przed wprowadzeniem cieczy kriogenicznej, aby uniknąć żużlu lodowego po bezpośrednim wprowadzeniu cieczy kriogenicznej do rurociągów VI i urządzeń końcowych. Funkcja wstępnego chłodzenia powinna być uwzględniona w projekcie. Zapewnia lepszą ochronę urządzeń końcowych i urządzeń pomocniczych rurociągów VI, takich jak zawory.
9. Nadaje się do dynamicznych i statycznych systemów rur izolowanych próżniowo (elastycznych).
10. Dynamiczny izolowany próżniowo (elastyczny) system rurowy: składa się z elastycznych węży VI i/lub rur VI, węży połączeniowych, izolowanego próżniowo systemu zaworów, separatorów faz i dynamicznego systemu pomp próżniowych (w tym pomp próżniowych, zaworów elektromagnetycznych i mierników próżni itp.). Długość pojedynczego elastycznego węża VI można dostosować do wymagań użytkownika.
11. Różne typy połączeń: Można wybrać typ połączenia bagnetowego próżniowego (VBC) i połączenie spawane. Typ VBC nie wymaga izolowanej obróbki na miejscu.
