Układy chłodzenia ciekłym azotem są szeroko stosowane w przemyśle półprzewodników i chipów, w tym w procesach,
- Technologia epitaksji z wiązek molekularnych (MBE)
- Test chipa po pakiecie COB
Powiązane produkty
Seria rur izolowanych próżniowo
Seria elastycznych węży izolowanych próżniowo
Dynamiczny system pompy próżniowej
Seria izolowanych próżniowo separatorów faz
Seria zaworów izolowanych próżniowo
Sprzęt wspierający system rurociągów
EPITAKSY WIĄZEK MOLEKULARNYCH
Technologia epitaksji z wiązek molekularnych (MBE) została opracowana w latach pięćdziesiątych XX wieku w celu przygotowania cienkowarstwowych materiałów półprzewodnikowych przy użyciu technologii odparowania próżniowego. Wraz z rozwojem technologii ultrawysokiej próżni zastosowanie tej technologii zostało rozszerzone na dziedzinę nauki o półprzewodnikach.
Firma HL zauważyła zapotrzebowanie na system chłodzenia ciekłym azotem MBE, zorganizowała zaplecze techniczne w celu pomyślnego opracowania specjalnego systemu chłodzenia ciekłym azotem MBE dla technologii MBE oraz kompletnego zestawu rurociągów izolowanych próżniowo, który był stosowany w wielu przedsiębiorstwach, uniwersytetach i instytutach badawczych .
Typowe problemy branży półprzewodników i chipów obejmują:
- Ciśnienie ciekłego azotu w urządzeniach końcowych (MBE). Zapobiegaj przeciążeniu ciśnieniowemu spowodowanemu uszkodzeniem sprzętu terminala (MBE).
- Wiele elementów sterujących wlotem i wylotem cieczy kriogenicznej
- Temperatura ciekłego azotu wprowadzanego do urządzeń końcowych
- Rozsądna ilość emisji gazów kriogenicznych
- (Automatyczne) Przełączanie linii głównej i odgałęzionej
- Regulacja ciśnienia (redukcja) i stabilność VIP
- Czyszczenie zbiornika z ewentualnych zanieczyszczeń i pozostałości lodu
- Czas napełniania terminalowego sprzętu płynnego
- Wstępne chłodzenie rurociągu
- Odporność na ciecze w systemie VIP
- Kontroluj utratę ciekłego azotu podczas nieciągłej pracy systemu
Rura izolowana próżniowo (VIP) firmy HL jest standardowo zbudowana zgodnie z normą ASME B31.3 dotyczącą rurociągów ciśnieniowych. Doświadczenie inżynieryjne i zdolność kontroli jakości w celu zapewnienia wydajności i opłacalności instalacji klienta.
ROZWIĄZANIA
HL Cryogenic Equipment zapewnia klientom system rurociągów izolowanych próżniowo, spełniający wymagania i warunki branży półprzewodników i chipów:
1. System zarządzania jakością: ASME B31.3 Kodeks rurociągów ciśnieniowych.
2. Specjalny separator faz z wieloma wlotami i wylotami cieczy kriogenicznej z funkcją automatycznego sterowania spełnia wymagania dotyczące emisji gazów, zawróconego ciekłego azotu i temperatury ciekłego azotu.
3. Odpowiedni i terminowy projekt wydechu gwarantuje, że urządzenia końcowe zawsze będą działać w ramach projektowanej wartości ciśnienia.
4. Barierę gazowo-cieczową umieszcza się w pionowej rurze VI na końcu rurociągu VI. Bariera gaz-ciecz wykorzystuje zasadę uszczelnienia gazowego, aby zablokować ciepło od końca rurociągu VI do rurociągu VI i skutecznie zmniejszyć utratę ciekłego azotu podczas nieciągłej i przerywanej pracy systemu.
5.VI Rurociągi sterowane za pomocą izolowanego próżniowo zaworu (VIV): Seria: obejmująca izolowany próżniowo (pneumatyczny) zawór odcinający, izolowany próżniowo zawór zwrotny, izolowany próżniowo zawór regulacyjny itp. Różne typy VIV można łączyć modułowo w celu sterowania VIP jako wymagany. VIV jest zintegrowany z prefabrykacją VIP u producenta, bez izolacji izolacyjnej na miejscu. Zespół uszczelniający VIV można łatwo wymienić. (HL akceptuje markę zaworów kriogenicznych wyznaczoną przez klientów, a następnie produkuje zawory z izolacją próżniową firmy HL. Niektórych marek i modeli zaworów może nie nadawać się do wykonania jako zawory z izolacją próżniową.)
6.Czystość, jeżeli istnieją dodatkowe wymagania dotyczące czystości powierzchni dętki. Sugeruje się, aby klienci wybierali rury ze stali nierdzewnej BA lub EP jako rury wewnętrzne VIP w celu dalszego ograniczenia wycieków stali nierdzewnej.
7. Filtr izolowany próżniowo: Usuń ewentualne zanieczyszczenia i pozostałości lodu ze zbiornika.
8. Po kilku dniach lub dłuższym przestoju lub konserwacji bardzo konieczne jest wstępne schłodzenie rurociągu VI i urządzeń końcowych przed wprowadzeniem cieczy kriogenicznej, aby uniknąć żużla lodowego po bezpośrednim przedostaniu się cieczy kriogenicznej do rurociągu VI i wyposażenia końcowego. Podczas projektowania należy uwzględnić funkcję wstępnego chłodzenia. Zapewnia lepszą ochronę urządzeń końcowych i sprzętu pomocniczego VI Pipe, takiego jak zawory.
9. Nadaje się zarówno do dynamicznego, jak i statycznego (elastycznego) systemu rur z izolacją próżniową.
10. Dynamiczny izolowany próżniowo (elastyczny) system rurociągów: składa się z elastycznych węży VI i/lub rur VI, węży łączących, układu zaworów izolowanych próżniowo, separatorów faz i układu dynamicznej pompy próżniowej (w tym pomp próżniowych, zaworów elektromagnetycznych i mierników próżni itp.). ). Długość pojedynczego węża elastycznego VI można dostosować do wymagań użytkownika.
11. Różne typy połączeń: Można wybrać typ połączenia bagnetowego próżniowego (VBC) i połączenie spawane. Typ VBC nie wymaga izolacji na miejscu.
