Technologia
Epitaksja z wiązek molekularnych (MBE) to nowa technika hodowli wysokiej jakości cienkich warstw kryształów na podłożach krystalicznych. W warunkach ultrawysokiej próżni, piec grzewczy wyposażony we wszystkie niezbędne komponenty generuje parę wodną, która jest następnie kierowana do podłoża przez otwory utworzone po kolimacji wiązki atomowej lub molekularnej, a następnie kierowana bezpośrednio do podłoża o odpowiedniej temperaturze. Jednocześnie, kontrolując kierunek wiązki molekularnej, umożliwia ona formowanie cienkich warstw na podłożu, z których wyrównują się cząsteczki lub atomy.
Do normalnej pracy urządzeń MBE wymagany jest ciągły i stabilny transport ciekłego azotu o wysokiej czystości, niskim ciśnieniu i ultraczystości do komory chłodzącej urządzenia. Ogólnie rzecz biorąc, zbiornik dostarczający ciekły azot ma ciśnienie wyjściowe od 0,3 MPa do 0,8 MPa. Ciekły azot w temperaturze -196°C łatwo odparowuje do azotu podczas transportu rurociągiem. Po zgazowaniu ciekłego azotu o stosunku gaz-ciecz około 1:700 w rurociągu, zajmuje on dużą część przestrzeni przepływu ciekłego azotu i zmniejsza normalny przepływ na końcu rurociągu z ciekłym azotem. Ponadto w zbiorniku magazynowym ciekłego azotu prawdopodobnie znajdują się nieusunięte zanieczyszczenia. Obecność wilgotnego powietrza w rurociągu z ciekłym azotem również prowadzi do powstawania żużlu lodowego. Jeśli te zanieczyszczenia przedostaną się do urządzenia, spowoduje to nieprzewidywalne uszkodzenia urządzenia.
Dlatego ciekły azot ze zbiornika zewnętrznego jest transportowany do urządzeń MBE w warsztacie wolnym od pyłu, z wysoką wydajnością, stabilnością i czystością, przy niskim ciśnieniu, bez azotu, bez zanieczyszczeń, nieprzerwanie przez 24 godziny. Taki system kontroli transportu jest produktem kwalifikowanym.



Dopasowanie sprzętu MBE
Od 2005 roku firma HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) optymalizuje i udoskonala ten system, współpracując z międzynarodowymi producentami sprzętu MBE. Producenci sprzętu MBE, w tym DCA i REBER, współpracują z naszą firmą. Producenci sprzętu MBE, w tym DCA i REBER, współpracowali przy wielu projektach.
Riber SA jest wiodącym globalnym dostawcą produktów epitaksji z wiązek molekularnych (MBE) i powiązanych usług dla badań nad półprzewodnikami złożonymi i zastosowań przemysłowych. Urządzenie MBE Riber umożliwia nakładanie bardzo cienkich warstw materiału na podłoże, zapewniając jednocześnie wysoki poziom kontroli. Sprzęt próżniowy firmy HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) jest wyposażony w Riber SA. Największym urządzeniem jest Riber 6000, a najmniejszym Compact 21. Jest ono w dobrym stanie i cieszy się uznaniem klientów.
DCA to wiodąca na świecie technologia tlenkowego jonizowania (MBE). Od 1993 roku systematycznie rozwijane są techniki utleniania, podgrzewania substratów antyoksydacyjnych oraz źródła przeciwutleniaczy. Z tego powodu wiele wiodących laboratoriów wybrało technologię tlenkową DCA. Kompozytowe systemy półprzewodnikowe MBE są stosowane na całym świecie. System cyrkulacji ciekłego azotu VJ firmy HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) oraz urządzenia MBE wielu modeli DCA posiadają doświadczenie w realizacji wielu projektów, takich jak modele P600, R450, SGC800 itp.

Tabela wydajności
Szanghajski Instytut Fizyki Technicznej, Chińska Akademia Nauk |
11. Instytut Chińskiej Korporacji Technologii Elektronicznych |
Instytut Półprzewodników, Chińska Akademia Nauk |
Huawei |
Akademia DAMO Alibaba |
Powertech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Czas publikacji: 26 maja 2021 r.