Projekt CHIP MBE ukończony w ostatnich latach

Technologia

Epitaksja wiązki molekularnej lub MBE to nowa technika uprawy cienkich warstw wysokiej jakości kryształów na kryształowych podłożach. W ultra-wysokich warunkach próżniowych przez piec grzewczy jest wyposażony w wszelkiego rodzaju wymagane składniki i generuje pary, przez otwory utworzone po kolimacyjnej wiązce atomowej lub wiązki molekularnej, bezpośrednie wstrzyknięcie do odpowiedniej temperatury pojedynczego kryształu, kontrolując wiązkę molekularną do Skanowanie podłoża w tym samym czasie może powodować, że cząsteczki lub atomy w warstwach wyrównania kryształów utworzą cienką warstwę na podłożu „wzrost”.

W celu normalnego działania sprzętu MBE wymagane są wysokie czystość, niskie ciśnienie i ultra czyszczące ciekier azotowe, aby być ciągłym i stabilnie transportowane do komory chłodzącej sprzętu. Zasadniczo zbiornik, który zapewnia ciekł azot ma ciśnienie wyjściowe między 0,3 MPa a 0,8 MPa. Azot likwidowy w temperaturze -196 ℃ jest łatwo odparowywania azotu podczas transportu rurociągu. Gdy ciekł azot o stosunku gazu-ciecz wynoszącym około 1: 700 zostanie rozpatrzony w rurociągu, zajmie się dużą ilością przestrzeni przepływu ciekłego azotu i zmniejszy normalny przepływ na końcu ciekłego azotu. Ponadto w ciekłym zbiorniku do magazynowania azotu prawdopodobnie nie pojawią się zanieczyszczenia, które nie zostały oczyszczone. W ciekłym azotu istnienie mokrego powietrza doprowadzi również do wytwarzania żużla lodowego. Jeśli te zanieczyszczenia zostaną wyprowadzane do sprzętu, spowoduje to nieprzewidywalne uszkodzenie sprzętu.

Dlatego ciekły azot w zbiorniku magazynowym na zewnątrz jest transportowany do sprzętu MBE w warsztatach bez pyłu o wysokiej wydajności, stabilności i czystości, a niskie ciśnienie, bez azotu, bez zanieczyszczeń, 24 godziny nieprzerwane, taki system kontroli transportu jest wykwalifikowany produkt.

TCM (4)
TCM (1)
TCM (3)

Dopasowywanie sprzętu MBE

Od 2005 r. HL Criogeic Equipment (HL Cryo) optymalizuje i ulepszał ten system oraz współpracuje z międzynarodowymi producentami sprzętu MBE. Producenci sprzętu MBE, w tym DCA, Reber, mają relacje współpracujące z naszą firmą. Producenci sprzętu MBE, w tym DCA i Reber, współpracowali w wielu projektach.

Riber SA jest wiodącym globalnym dostawcą produktów Epitaxy Beam Molecular Beam (MBE) i powiązanych usług dla złożonych badań półprzewodnikowych i zastosowań przemysłowych. Urządzenie Ribera MBE może odkładać bardzo cienkie warstwy materiału na podłożu, z bardzo wysokimi elementami sterującymi. Sprzęt próżniowy sprzętu kriogenicznego HL (HL Cryo) jest wyposażony w Riber SA, największy sprzęt to Riber 6000, a najmniejszy jest kompaktowy 21. Jest w dobrym stanie i został rozpoznany przez klientów.

DCA jest wiodącym światowym tlenkiem MBE. Od 1993 r. Przeprowadzono systematyczny rozwój technik utleniania, ogrzewanie podłoża przeciwutleniającego i źródła przeciwutleniające. Z tego powodu wiele wiodących laboratoriów wybrało technologię tlenku DCA. Na całym świecie stosuje się kompozytowe systemy MBE MBE. System krążenia azotu VJ ciekłego azotu sprzętu kriogenicznego HL (HL Cryo) i urządzenia MBE wielu modeli DCA mają dopasowanie w wielu projektach, takich jak model P600, R450, SGC800 itp.

TCM (2)

Tabela wydajności

Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences
11. Instytut China Electronics Technology Corporation
Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences
Huawei
Akademia Alibaba Damo
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Czas po: 26-2021

Zostaw swoją wiadomość