Projekt Chip MBE ukończony w ubiegłych latach

Technologia

Epitaksja z wiązek molekularnych (MBE) to nowa technika hodowli wysokiej jakości cienkich warstw kryształów na podłożach krystalicznych.W warunkach ultrawysokiej próżni piec grzewczy jest wyposażony we wszelkiego rodzaju wymagane komponenty i wytwarza parę, poprzez otwory powstałe po kolimacji wiązki atomowej lub molekularnej, bezpośredni wtrysk do odpowiedniej temperatury podłoża monokrystalicznego, kontrolując wiązkę molekularną do jednocześnie skanując podłoże, może sprawić, że cząsteczki lub atomy w warstwach wyrównania kryształów utworzą cienką warstwę na „wzroście” podłoża.

Do normalnej pracy sprzętu MBE wymagany jest ciągły i stabilny transport ciekłego azotu o wysokiej czystości, pod niskim ciśnieniem i ultraczystym do komory chłodzącej urządzenia.Ogólnie rzecz biorąc, zbiornik dostarczający ciekły azot ma ciśnienie wyjściowe od 0,3 MPa do 0,8 MPa. Ciekły azot w temperaturze -196℃ łatwo odparowuje do azotu podczas transportu rurociągiem.Po zgazowaniu w rurociągu ciekłego azotu o stosunku gazu do cieczy wynoszącym około 1:700 zajmie on dużą ilość przestrzeni przepływu ciekłego azotu i zmniejszy normalny przepływ na końcu rurociągu ciekłego azotu.Ponadto w zbiorniku ciekłego azotu prawdopodobnie znajdują się nieoczyszczone zanieczyszczenia.W rurociągu ciekłego azotu obecność wilgotnego powietrza będzie również prowadzić do powstawania żużla lodowego.Jeśli te zanieczyszczenia przedostaną się do urządzenia, spowoduje to nieprzewidywalne uszkodzenie sprzętu.

Dlatego ciekły azot w zewnętrznym zbiorniku jest transportowany do sprzętu MBE w bezpyłowym warsztacie z wysoką wydajnością, stabilnością i czystością, a pod niskim ciśnieniem, bez azotu i bez zanieczyszczeń, przez 24 godziny nieprzerwanie, taki system kontroli transportu jest kwalifikowany produkt.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Pasujący sprzęt MBE

Od 2005 roku firma HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) optymalizuje i udoskonala ten system oraz współpracuje z międzynarodowymi producentami sprzętu MBE.Producenci sprzętu MBE, m.in. DCA, REBER, współpracują z naszą firmą.Producenci sprzętu MBE, m.in. DCA i REBER, współpracowali przy dużej liczbie projektów.

Riber SA jest wiodącym światowym dostawcą produktów epitaksji z wiązek molekularnych (MBE) i powiązanych usług do badań nad złożonymi półprzewodnikami i zastosowań przemysłowych.Urządzenie Riber MBE może nakładać bardzo cienkie warstwy materiału na podłoże przy bardzo dużej kontroli.Urządzenia próżniowe firmy HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) wyposażone są w firmę Riber SA Największym sprzętem jest Riber 6000 a najmniejszym Compact 21. Jest w dobrym stanie i spotkał się z uznaniem klientów.

DCA jest wiodącym na świecie tlenkowym MBE.Od 1993 roku prowadzony jest systematyczny rozwój technik utleniania, ogrzewania substratów przeciwutleniających i źródeł przeciwutleniaczy.Z tego powodu wiele wiodących laboratoriów wybrało technologię tlenku DCA.Kompozytowe półprzewodnikowe systemy MBE są stosowane na całym świecie.System cyrkulacji ciekłego azotu VJ firmy HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) i sprzęt MBE wielu modeli DCA mają odpowiednie doświadczenie w wielu projektach, takich jak modele P600, R450, SGC800 itp.

tcm (2)

Tabela wydajności

Szanghajski Instytut Fizyki Technicznej Chińskiej Akademii Nauk
11. Instytut Chińskiej Korporacji Technologii Elektronicznej
Instytut Półprzewodników Chińskiej Akademii Nauk
Huaweia
Akademia Alibaba DAMO
Firma Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Fotonika Suzhou Everbright

Czas publikacji: 26 maja 2021 r