Technologia
Epitaksja z wiązki molekularnej, lub MBE, to nowa technika hodowli wysokiej jakości cienkich warstw kryształów na podłożach krystalicznych. W warunkach ultrawysokiej próżni piec grzewczy jest wyposażony we wszystkie rodzaje wymaganych komponentów i generuje parę, przez otwory utworzone po kolimacji wiązki atomowej lub molekularnej, bezpośrednim wtrysku do odpowiedniej temperatury podłoża monokrystalicznego, kontrolując wiązkę molekularną do podłoża skanującego w tym samym czasie, może sprawić, że cząsteczki lub atomy w warstwach wyrównania kryształów utworzą cienką warstwę na podłożu „wzrost”.
Do normalnej pracy sprzętu MBE wymagany jest stały i stabilny transport ciekłego azotu o wysokiej czystości, niskim ciśnieniu i ultraczystym ciekłym azocie do komory chłodzącej sprzętu. Zasadniczo zbiornik dostarczający ciekły azot ma ciśnienie wyjściowe między 0,3 MPa a 0,8 MPa. Ciekły azot w temperaturze -196℃ łatwo odparowuje do azotu podczas transportu rurociągiem. Gdy ciekły azot o stosunku gazu do cieczy wynoszącym około 1:700 zostanie zgazowany w rurociągu, zajmie dużą ilość przestrzeni przepływu ciekłego azotu i zmniejszy normalny przepływ na końcu rurociągu ciekłego azotu. Ponadto w zbiorniku magazynowym ciekłego azotu prawdopodobnie znajdą się zanieczyszczenia, które nie zostały oczyszczone. W rurociągu ciekłego azotu obecność mokrego powietrza doprowadzi również do wytworzenia żużlu lodowego. Jeśli te zanieczyszczenia zostaną uwolnione do sprzętu, spowoduje to nieprzewidywalne uszkodzenie sprzętu.
Dlatego ciekły azot ze zbiornika zewnętrznego jest transportowany do sprzętu MBE w bezpyłowym warsztacie z wysoką wydajnością, stabilnością i czystością, a także przy niskim ciśnieniu, bez azotu i zanieczyszczeń, nieprzerwanie przez 24 godziny. Taki system kontroli transportu jest produktem kwalifikowanym.



Dopasowanie sprzętu MBE
Od 2005 roku HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) optymalizuje i udoskonala ten system oraz współpracuje z międzynarodowymi producentami sprzętu MBE. Producenci sprzętu MBE, w tym DCA, REBER, mają stosunki współpracy z naszą firmą. Producenci sprzętu MBE, w tym DCA i REBER, współpracowali przy wielu projektach.
Riber SA jest wiodącym globalnym dostawcą produktów epitaksji wiązką molekularną (MBE) i powiązanych usług dla badań nad półprzewodnikami złożonymi i zastosowań przemysłowych. Urządzenie Riber MBE może osadzać bardzo cienkie warstwy materiału na podłożu, z bardzo wysokimi kontrolami. Sprzęt próżniowy HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) jest wyposażony w Riber SA Największym sprzętem jest Riber 6000, a najmniejszym Compact 21. Jest w dobrym stanie i został doceniony przez klientów.
DCA jest wiodącym na świecie tlenkowym MBE. Od 1993 r. prowadzono systematyczny rozwój technik utleniania, ogrzewania podłoża antyoksydacyjnego i źródeł antyoksydacyjnych. Z tego powodu wiele wiodących laboratoriów wybrało technologię tlenkową DCA. Kompozytowe półprzewodnikowe systemy MBE są stosowane na całym świecie. System cyrkulacji ciekłego azotu VJ firmy HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) i sprzęt MBE wielu modeli DCA mają dopasowane doświadczenie w wielu projektach, takich jak model P600, R450, SGC800 itp.

Tabela wydajności
Szanghajski Instytut Fizyki Technicznej, Chińska Akademia Nauk |
11. Instytut Chińskiej Korporacji Technologii Elektronicznej |
Instytut Półprzewodników, Chińska Akademia Nauk |
Huawei |
Akademia DAMO Alibaba |
Technologia Powertech Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Fotonika |
Czas publikacji: 26-05-2021