Technologia
Epitaksja wiązki molekularnej lub MBE to nowa technika uprawy cienkich warstw wysokiej jakości kryształów na kryształowych podłożach. W ultra-wysokich warunkach próżniowych przez piec grzewczy jest wyposażony w wszelkiego rodzaju wymagane składniki i generuje pary, przez otwory utworzone po kolimacyjnej wiązce atomowej lub wiązki molekularnej, bezpośrednie wstrzyknięcie do odpowiedniej temperatury pojedynczego kryształu, kontrolując wiązkę molekularną do Skanowanie podłoża w tym samym czasie może powodować, że cząsteczki lub atomy w warstwach wyrównania kryształów utworzą cienką warstwę na podłożu „wzrost”.
W celu normalnego działania sprzętu MBE wymagane są wysokie czystość, niskie ciśnienie i ultra czyszczące ciekier azotowe, aby być ciągłym i stabilnie transportowane do komory chłodzącej sprzętu. Zasadniczo zbiornik, który zapewnia ciekł azot ma ciśnienie wyjściowe między 0,3 MPa a 0,8 MPa. Azot likwidowy w temperaturze -196 ℃ jest łatwo odparowywania azotu podczas transportu rurociągu. Gdy ciekł azot o stosunku gazu-ciecz wynoszącym około 1: 700 zostanie rozpatrzony w rurociągu, zajmie się dużą ilością przestrzeni przepływu ciekłego azotu i zmniejszy normalny przepływ na końcu ciekłego azotu. Ponadto w ciekłym zbiorniku do magazynowania azotu prawdopodobnie nie pojawią się zanieczyszczenia, które nie zostały oczyszczone. W ciekłym azotu istnienie mokrego powietrza doprowadzi również do wytwarzania żużla lodowego. Jeśli te zanieczyszczenia zostaną wyprowadzane do sprzętu, spowoduje to nieprzewidywalne uszkodzenie sprzętu.
Dlatego ciekły azot w zbiorniku magazynowym na zewnątrz jest transportowany do sprzętu MBE w warsztatach bez pyłu o wysokiej wydajności, stabilności i czystości, a niskie ciśnienie, bez azotu, bez zanieczyszczeń, 24 godziny nieprzerwane, taki system kontroli transportu jest wykwalifikowany produkt.



Dopasowywanie sprzętu MBE
Od 2005 r. HL Criogeic Equipment (HL Cryo) optymalizuje i ulepszał ten system oraz współpracuje z międzynarodowymi producentami sprzętu MBE. Producenci sprzętu MBE, w tym DCA, Reber, mają relacje współpracujące z naszą firmą. Producenci sprzętu MBE, w tym DCA i Reber, współpracowali w wielu projektach.
Riber SA jest wiodącym globalnym dostawcą produktów Epitaxy Beam Molecular Beam (MBE) i powiązanych usług dla złożonych badań półprzewodnikowych i zastosowań przemysłowych. Urządzenie Ribera MBE może odkładać bardzo cienkie warstwy materiału na podłożu, z bardzo wysokimi elementami sterującymi. Sprzęt próżniowy sprzętu kriogenicznego HL (HL Cryo) jest wyposażony w Riber SA, największy sprzęt to Riber 6000, a najmniejszy jest kompaktowy 21. Jest w dobrym stanie i został rozpoznany przez klientów.
DCA jest wiodącym światowym tlenkiem MBE. Od 1993 r. Przeprowadzono systematyczny rozwój technik utleniania, ogrzewanie podłoża przeciwutleniającego i źródła przeciwutleniające. Z tego powodu wiele wiodących laboratoriów wybrało technologię tlenku DCA. Na całym świecie stosuje się kompozytowe systemy MBE MBE. System krążenia azotu VJ ciekłego azotu sprzętu kriogenicznego HL (HL Cryo) i urządzenia MBE wielu modeli DCA mają dopasowanie w wielu projektach, takich jak model P600, R450, SGC800 itp.

Tabela wydajności
Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences |
11. Instytut China Electronics Technology Corporation |
Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences |
Huawei |
Akademia Alibaba Damo |
Powertech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Czas po: 26-2021