W miarę jak producenci półprzewodników przechodzą na zaawansowane technologie pakowania, takie jak integracja chipletów, łączenie chipów typu flip-chip i architektura układów scalonych 3D, zapotrzebowanie na wysoce niezawodną infrastrukturę kriogeniczną stało się bardziej krytyczne niż kiedykolwiek. W tym środowisku systemy zbudowane wokółHL KriogenicznyRura z płaszczem próżniowym, rura izolowana, separator, zawór i skrzynka zaworowa odgrywają podstawową rolę w utrzymaniu precyzji termicznej i stabilności operacyjnej.

Kontrola kriogeniczna w liniach pakowania o wysokiej precyzji

Nowoczesne pakowanie i testowanie układów scalonych często wiąże się z narażeniem na ekstremalne wahania temperatury, zwłaszcza podczas cykli termicznych, badań niezawodności i charakteryzacji w niskich temperaturach. Podstawową funkcją kriogenicznego HL jestrura izolowana próżniowopolega na dostarczaniu kriogenicznej cieczy, zazwyczaj ciekłego azotu, przy jednoczesnym minimalizowaniu przenikania ciepła z otaczającego pomieszczenia czystego.

Dzięki wysokiemu poziomowi próżni i wielowarstwowej konstrukcji izolacyjnej HL Cryogenicrura z płaszczem próżniowymSystem skutecznie zapobiega wyciekom ciepła, utrzymując płyn w stabilnej fazie ciekłej na długich dystansach. Zapewnia to stałą wydajność chłodzenia na wielu stanowiskach testowych, eliminując wahania temperatury, które mogłyby wpłynąć na parametry półprzewodników.

W środowiskach testowych wrażliwych na zmęczenie, nawet niewielkie wahania temperatury mogą wpłynąć na dokładność pomiaru. Dlatego coraz więcej ośrodków testowych przechodzi na systemy rur izolowanych próżniowo HL Cryogenic jako długoterminowe rozwiązanie zapewniające stabilne dostawy kriogeniczne.

Gwarantowana stabilność fazySeparator faz

Podczas pracy część cieczy kriogenicznej nieuchronnie odparowuje, pochłaniając ciepło otoczenia. HL Cryogenicseparator fazOdgrywa kluczową rolę, oddzielając parę od cieczy, zanim dotrze ona do krytycznych urządzeń. Dzięki temu do wrażliwych komór testowych i stacji pomiarowych trafia wyłącznie przechłodzona ciecz.

Zapobiegając przepływowi dwufazowemu, kriogeniczny separator faz HL znacząco poprawia powtarzalność procesu i chroni elementy sterowania przed niestabilnością przepływu. Jest to coraz ważniejsze w miarę kurczenia się geometrii urządzeń i zmniejszania się przedziałów tolerancji w zaawansowanych technologiach węzłów.

Bezpieczeństwo operacyjne zarządzane przezZawórISkrzynka zaworowa

Przepływ i ciśnienie cieczy kriogenicznych w systemie rur HL Cryogenic z płaszczem próżniowym są regulowane za pomocą specjalnie zaprojektowanych zaworów HL Cryogenic. Komponenty te zostały zaprojektowane z myślą o niezawodnej pracy w bardzo niskich temperaturach i przy gwałtownych zmianach temperatury.

Aby jeszcze bardziej zwiększyć bezpieczeństwo i dostępność systemu, każdy zawór HL Cryogenic jest umieszczony w izolowanej skrzynce zaworowej HL Cryogenic. Skrzynka zaworowa chroni zawór przed wnikaniem wilgoci, ogranicza gromadzenie się szronu i umożliwia technikom przeprowadzanie kontroli i regulacji bez zakłócania równowagi termicznej otoczenia.

Ta kompaktowa, modułowa konfiguracja dobrze wpisuje się także w rygorystyczne ograniczenia przestrzenne typowe dla zakładów pakowania półprzewodników i pomieszczeń czystych.

Inteligentny wybór infrastruktury dla zaawansowanych zakładów produkujących półprzewodniki

W miarę jak branża dąży do wyższej gęstości integracji i bardziej rygorystycznych standardów testowania, infrastruktura kriogeniczna przestaje być kwestią drugorzędną. Producenci półprzewodników, którzy inwestują w rury izolowane próżniowo HL Cryogenic, HL Cryogenicrura z płaszczem próżniowym, separator, zawór, Iskrzynka zaworowaSystemy te zyskują wymierne korzyści w zakresie efektywności, bezpieczeństwa i długoterminowej kontroli kosztów.

W konkurencyjnych środowiskach produkcyjnych stabilność sieci kriogenicznej może mieć decydujący wpływ na wydajność produktu, żywotność sprzętu i spójność operacyjną — co sprawia, że ​​rozwiązania HL Cryogenic stanowią istotną część infrastruktury półprzewodnikowej.